MATHEMATICAL MODELING OF THIN FILM GROWTH ON SUBSTRATES, ALLOWING THE CONSTRUCTION OF SOLUTIONS TO INVERSE PROBLEMS ARISING IN THE FRAMEWORK OF THE MODEL, BY COORDINATE TRANSFORMATION METHOD
https://doi.org/10.33236/2307-910X-2019-2-26-35-45
Abstract
The development of microelectronics, optoelectronics and other branches of science and technology contributes to progress in the field of film modeling
About the Authors
E. O. Tarasenko
North-Caucasus Federal University
Russian Federation
Russian Federation
A. V. Gladkov
North-Caucasus Federal University
Russian Federation
Russian Federation
V. S. Tarasenko
North-Caucasus Federal University
Russian Federation
Russian Federation
A. V. Shaposhnikov
North-Caucasus Federal University
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Mahan J. Е. Physical Vapor Deposition of Thin Films. Wiley-Interscience. 2000. 340 p.
2. Oura K., Lifshits V. G., Saranin A. A., Zotov A. V., Katayama M. Surface Science: An Introduction. Springer, 2003. 443 p.
3. Venables, J. Introduction to Surface and Thin Film Processes. Cambridge: Cambridge University Press, 2003. 372 p.
4. Бакушский А. Б., Гончарский А. В. Итеративные методы решения некорректных задач. М.: Физматлит, 1989.130 с.
5. Галай Е. О. Математическая модель образования плёнок на подложках // Обозрение прикладной и промышленной математики. 2005. Т.12. Вып. 4. С. 932.
6. Ладыженская О. А. Краевые задачи математической физики. М.: Наука, 1973. 406 с.
7. Назыров Д. Э. Диффузия европия в кремнии // Физика и техника полупроводников. 2003. Т. 37. Вып. 5. С. 570-571.
8. Самарский А. А, Гулин А.В. Численные методы математической физики. М.: Научный мир. 2003. 316 с.
9. Семенчин Е. А. Аналитические решения краевых задач в математической модели атмосферной диффузии. Ставрополь: Издательство Ставропольского Краевого института усовершенствования учителей. 1993. 141с.
10. Тарасенко Е. О., Гладков А. В. Аналитические и численные решения некоторых обратных задач в рамках математической модели роста тонких пленок на подложках, уравнение которой допускает решение гауссового вида // Параллельная компьютерная алгебра и её приложения в новых инфокоммуникационных системах. Ставрополь: Издательско-информационный центр «Фабула», 2014. С. 93-98.
Review
For citations:
Tarasenko E.O., Gladkov A.V., Tarasenko V.S., Shaposhnikov A.V. MATHEMATICAL MODELING OF THIN FILM GROWTH ON SUBSTRATES, ALLOWING THE CONSTRUCTION OF SOLUTIONS TO INVERSE PROBLEMS ARISING IN THE FRAMEWORK OF THE MODEL, BY COORDINATE TRANSFORMATION METHOD. Modern Science and Innovations. 2019;(2):35-45. (In Russ.) https://doi.org/10.33236/2307-910X-2019-2-26-35-45
Views:
48
Email this article 