МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ РОСТА ТОНКИХ ПЛЁНОК НА ПОДЛОЖКАХ, ДОПУСКАЮЩЕЕ ПОСТРОЕНИЕ РЕШЕНИЯ ОБРАТНЫХ ЗАДАЧ, ВОЗНИКАЮЩИХ В РАМКАХ МОДЕЛИ, МЕТОДОМ ПРЕОБРАЗОВАНИЯ КООРДИНАТ
https://doi.org/10.33236/2307-910X-2019-2-26-35-45
Аннотация
Развитие микроэлекториники, оптоэлекторроники и др. отраслей науки итехнике спососбствует прогрессу в обопасти пленочногг моделирования
Об авторах
Е. О. Тарасенко
Северо-Кавказский федеральный университет
Россия
Россия
А. В. Гладков
Северо-Кавказский федеральный университет
Россия
Россия
В. С. Тарасенко
Северо-Кавказский федеральный университет
Россия
Россия
А. В. Шапошников
Северо-Кавказский федеральный университет
Россия
Россия
Список литературы
1. Mahan J. Е. Physical Vapor Deposition of Thin Films. Wiley-Interscience. 2000. 340 p.
2. Oura K., Lifshits V. G., Saranin A. A., Zotov A. V., Katayama M. Surface Science: An Introduction. Springer, 2003. 443 p.
3. Venables, J. Introduction to Surface and Thin Film Processes. Cambridge: Cambridge University Press, 2003. 372 p.
4. Бакушский А. Б., Гончарский А. В. Итеративные методы решения некорректных задач. М.: Физматлит, 1989.130 с.
5. Галай Е. О. Математическая модель образования плёнок на подложках // Обозрение прикладной и промышленной математики. 2005. Т.12. Вып. 4. С. 932.
6. Ладыженская О. А. Краевые задачи математической физики. М.: Наука, 1973. 406 с.
7. Назыров Д. Э. Диффузия европия в кремнии // Физика и техника полупроводников. 2003. Т. 37. Вып. 5. С. 570-571.
8. Самарский А. А, Гулин А.В. Численные методы математической физики. М.: Научный мир. 2003. 316 с.
9. Семенчин Е. А. Аналитические решения краевых задач в математической модели атмосферной диффузии. Ставрополь: Издательство Ставропольского Краевого института усовершенствования учителей. 1993. 141с.
10. Тарасенко Е. О., Гладков А. В. Аналитические и численные решения некоторых обратных задач в рамках математической модели роста тонких пленок на подложках, уравнение которой допускает решение гауссового вида // Параллельная компьютерная алгебра и её приложения в новых инфокоммуникационных системах. Ставрополь: Издательско-информационный центр «Фабула», 2014. С. 93-98.
Рецензия
Для цитирования:
Тарасенко Е.О., Гладков А.В., Тарасенко В.С., Шапошников А.В. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ РОСТА ТОНКИХ ПЛЁНОК НА ПОДЛОЖКАХ, ДОПУСКАЮЩЕЕ ПОСТРОЕНИЕ РЕШЕНИЯ ОБРАТНЫХ ЗАДАЧ, ВОЗНИКАЮЩИХ В РАМКАХ МОДЕЛИ, МЕТОДОМ ПРЕОБРАЗОВАНИЯ КООРДИНАТ. Современная наука и инновации. 2019;(2):35-45. https://doi.org/10.33236/2307-910X-2019-2-26-35-45
For citation:
Tarasenko E.O., Gladkov A.V., Tarasenko V.S., Shaposhnikov A.V. MATHEMATICAL MODELING OF THIN FILM GROWTH ON SUBSTRATES, ALLOWING THE CONSTRUCTION OF SOLUTIONS TO INVERSE PROBLEMS ARISING IN THE FRAMEWORK OF THE MODEL, BY COORDINATE TRANSFORMATION METHOD. Modern Science and Innovations. 2019;(2):35-45. (In Russ.) https://doi.org/10.33236/2307-910X-2019-2-26-35-45
Просмотров:
49
Послать статью по эл. почте 