msiСовременная наука и инновацииModern Science and Innovations2307-910XNorth-Caucasus Federal University10.33236/2307-910X-2019-2-26-35-45msi-79Research ArticleИНФОРМАТИКА, ВЫЧИСЛИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА И УПРАВЛЕНИЕTECHNICAL SCIENCES INFORMATION, COMPUTING AND MANAGEMENTМАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ РОСТА ТОНКИХ ПЛЁНОК НА ПОДЛОЖКАХ, ДОПУСКАЮЩЕЕ ПОСТРОЕНИЕ РЕШЕНИЯ ОБРАТНЫХ ЗАДАЧ, ВОЗНИКАЮЩИХ В РАМКАХ МОДЕЛИ, МЕТОДОМ ПРЕОБРАЗОВАНИЯ КООРДИНАТMATHEMATICAL MODELING OF THIN FILM GROWTH ON SUBSTRATES, ALLOWING THE CONSTRUCTION OF SOLUTIONS TO INVERSE PROBLEMS ARISING IN THE FRAMEWORK OF THE MODEL, BY COORDINATE TRANSFORMATION METHODТарасенкоЕ. О.TarasenkoE. O.galail@mail.ruГладковА. В.GladkovA. V.gavandrew@mail.ruТарасенкоВ. С.TarasenkoV. S.tarasenkovs@mail.ruШапошниковА. В.ShaposhnikovA. V.ashaposhnikov@ncfu.ruСеверо-Кавказский федеральный университетРоссияNorth-Caucasus Federal UniversityRussian Federation201904082022023545Copyright © Тарасенко Е.О., Гладков А.В., Тарасенко В.С., Шапошников А.В., 20222022Тарасенко Е.О., Гладков А.В., Тарасенко В.С., Шапошников А.В.Tarasenko E.O., Gladkov A.V., Tarasenko V.S., Shaposhnikov A.V.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://msi.elpub.ru/jour/article/view/79

Развитие микроэлекториники, оптоэлекторроники и др. отраслей науки итехнике спососбствует прогрессу в обопасти пленочногг моделирования

The development of microelectronics, optoelectronics and other branches of science and technology contributes to progress in the field of film modeling

математическое моделированиетонкоплёночная структураподстилающая поверхностьобратные задачимощность источникавысота расположения источникаметод преобразования координатmathematical modelingthin-film structureunderlying surfaceinverse problemspower sourceheight of the sourcethe method of coordinate transformationReferencesMahan J. Е. Physical Vapor Deposition of Thin Films. Wiley-Interscience. 2000. 340 p.Mahan J. Е. Physical Vapor Deposition of Thin Films. Wiley-Interscience. 2000. 340 p.Oura K., Lifshits V. G., Saranin A. A., Zotov A. V., Katayama M. Surface Science: An Introduction. Springer, 2003. 443 p.Oura K., Lifshits V. G., Saranin A. A., Zotov A. V., Katayama M. Surface Science: An Introduction. Springer, 2003. 443 p.Venables, J. Introduction to Surface and Thin Film Processes. Cambridge: Cambridge University Press, 2003. 372 p.Venables, J. Introduction to Surface and Thin Film Processes. Cambridge: Cambridge University Press, 2003. 372 p.Бакушский А. Б., Гончарский А. В. Итеративные методы решения некорректных задач. М.: Физматлит, 1989.130 с.Бакушский А. Б., Гончарский А. В. Итеративные методы решения некорректных задач. М.: Физматлит, 1989.130 с.Галай Е. О. Математическая модель образования плёнок на подложках // Обозрение прикладной и промышленной математики. 2005. Т.12. Вып. 4. С. 932.Галай Е. О. Математическая модель образования плёнок на подложках // Обозрение прикладной и промышленной математики. 2005. Т.12. Вып. 4. С. 932.Ладыженская О. А. Краевые задачи математической физики. М.: Наука, 1973. 406 с.Ладыженская О. А. Краевые задачи математической физики. М.: Наука, 1973. 406 с.Назыров Д. Э. Диффузия европия в кремнии // Физика и техника полупроводников. 2003. Т. 37. Вып. 5. С. 570-571.Назыров Д. Э. Диффузия европия в кремнии // Физика и техника полупроводников. 2003. Т. 37. Вып. 5. С. 570-571.Самарский А. А, Гулин А.В. Численные методы математической физики. М.: Научный мир. 2003. 316 с.Самарский А. А, Гулин А.В. Численные методы математической физики. М.: Научный мир. 2003. 316 с.Семенчин Е. А. Аналитические решения краевых задач в математической модели атмосферной диффузии. Ставрополь: Издательство Ставропольского Краевого института усовершенствования учителей. 1993. 141с.Семенчин Е. А. Аналитические решения краевых задач в математической модели атмосферной диффузии. Ставрополь: Издательство Ставропольского Краевого института усовершенствования учителей. 1993. 141с.Тарасенко Е. О., Гладков А. В. Аналитические и численные решения некоторых обратных задач в рамках математической модели роста тонких пленок на подложках, уравнение которой допускает решение гауссового вида // Параллельная компьютерная алгебра и её приложения в новых инфокоммуникационных системах. Ставрополь: Издательско-информационный центр «Фабула», 2014. С. 93-98.Тарасенко Е. О., Гладков А. В. Аналитические и численные решения некоторых обратных задач в рамках математической модели роста тонких пленок на подложках, уравнение которой допускает решение гауссового вида // Параллельная компьютерная алгебра и её приложения в новых инфокоммуникационных системах. Ставрополь: Издательско-информационный центр «Фабула», 2014. С. 93-98.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.