Статья посвящена математическому моделированию экономической эффективности процесса роста тонкопленочных структур, которое в настоящее время является малоизученным как теоретически, так и практически. Процесс производства таких структур является достаточно трудоемким и требует значительных инвестиций. Основной производственной задачей является планирование уровня интенсивности производства таким образом, чтобы суммарная выручка предприятия была максимальной. Построение математической производственной модели основано на использовании инструментария и методов оптимизации. Поставленная задача сводится к решению задачи линейного программирования. Математическое моделирование производства тонкопленочных структур имеет немалое практическое и теоретическое значение в современном научном мире.